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  • 真空退火爐.jpg

真空退火設備


所屬分類(lèi):

第一代半導體工藝設備


概要:

◆ 主要用于半導體器件退火及燒結等工藝,可進(jìn)行真空、氣體保護等 ◆ 設備結構新穎,操作方便 ◆ 在一臺設備上可以完成多個(gè)工藝流程


關(guān)鍵詞:

真空退火



真空退火設備


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LPE外延爐

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